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石英深加工:石英坩埚外形尺寸的确立

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石英深加工:石英坩埚外形尺寸的确立

发布日期:2019-04-10 00:00 来源:http://www.lygty.com 点击:

光纤石英管

石英坩埚尺寸大小(或容积大小)的确定取决于晶体生长的直径和长度,同时还要考虑拉晶工艺中对埚、晶直径比的要求。一般竭、晶直径比以3:1为佳。石英深加工

1.其理由是它与熔液直接接触,熔硅与石英坩埚的sio:反应生成sio后,它同时向熔体内部扩散和向熔体表面挥发。

最后有一部分到达固一液界面附近,混入到正在生长的晶体中去,从而使单晶体中的氧含量增高。低温水槽采取较大的涡、晶直径比,将有利于氧的大量挥发。

2.因此当拉制直径为8 0mrn、长度为7. 000mm硅单晶时,我们确定增涡的直径为中224mm,高度为190mm.根据石英的机械性质川:抗压强度为8004一8500 (WC kg/cm2),抗拆强度为710一1040(200C kg/cm‘),石英坩埚抗弯强度为700一1100 (200C kg/cml),抗扭强度为304一600 (20cc kg/cml),为此,我们选择柑im的厚度为4mm,这样就能承受住12Kg以上的Si料。

3.同时为了使单晶生长到达底部时,仍能保持其原有的竭、晶直径比(3:I)和尽量减少坩埚中剩料,以提高单晶的成品率和回收率,为此确定使用平底柑塌。石英坩埚外形尺寸和形状如图I所示。若采用球底琳A,则在保证竭、晶直径比(3:1)的情况下,其竭内剩料将超过平底琳祸的剩料,显然,不利于提高单晶的成品率和回收率。


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